คู่มือการใช้ Thermal evaporator

3222670695950

คู่มือการใช้ Thermal evaporator

ขั้นตอนการปฎิบัติงานระบบสุญญากาศสาหรับระบบระเหยสารโดยความร้อน

ก่อนเริ่มการปฎิบัติงานต้องตรวจสอบระบบสุญญากาศว่าพร้อมดำเนินการหรือไม่ โดยตรวจเช็ค

1 บัตเตอร์ฟลายวาล์ว (Butterfly Valve) อยู่ในสถานะเปิด (Open) แสดงดังรูปที่ 1

f1

รูปที่ 1 บัตเตอร์ฟลายวาล์วอยู่ในสถานะเปิด

2 เปิดระบบน้าหล่อเย็น (Cooling Water) ทิ้งไว้ก่อนเปิดระบบประมาณ 1 ชั่วโมง*

 

ขั้นตอนการปฎิบัติงานระบบสุญญากาศ
1. เมื่อระบบน้าหล่อเย็นพร้อมใช้งาน ให้ทาการเปิดระบบปั๊มสุญญากาศโดยเริ่มจากเปิด Rotary Pump และเปิด Solenoid Valve เพื่อดูดอากาศออกจากระบบ แสดงดังรูปที่ 2.1 และ รูปที่ 2.2 จากนั้นรอจนได้ความดันที่ประมาณ 3×10-2 Torr

f2.1 f2.2

รูปที่ 2.1 ปุ่มสาหรับเปิด (แสดงไฟสถานะสีแดง)          รูปที่ 2.2 ปุ่มสาหรับเปิดและปิด Solenoid Valve

และปิด Rotary Pump

2. หลังจากได้ความดันที่ประมาณ 3×10-2 Torr ทาการเปิด Diffusion Pump ให้เริ่มทางาน และเปิดระบบน้าหล่อเย็นให้ทาการไหล (Water Flow) แสดงดังรูปที่ 3.1 และรูปที่ 3.2 โดยในช่วงนี้เป็นช่วงการทางานของฮีตเตอร์ (Heater) ที่กาลังเพิ่มอุณหภูมิ จะสังเกตเห็นว่าความดันภายในระบบจะเพิ่มขึ้นในช่วงแรกเนื่องจากอากาศภายในระบบเกิดการขยายตัว แต่เมื่อได้อุณหภูมิสาหรับการดาเนินการแล้วความดันในระบบจะเริ่มลดลง

f3.1

รูปที่ 3.1 ปุ่มสาหรับเปิด (แสดงไฟสถานะสีแดง) และปิด Diffusion Pump

f3.2

รูปที่ 3.2 ปุ่มสาหรับเปิดและปิดการไหลของน้าหล่อเย็น

3. รอจนระบบปั๊มสุญญากาศสามารถทาความดันได้ถึงช่วงปฎิบัติงาน (Operating Pressure) โดยความดันต่าสุดที่สามารถทาได้ ≈ 6×10-6 Torr
4. ขั้นตอนการปิดระบบสุญญากาศ ทาการปิดบัตเตอร์ฟลายวาล์ว (Close) และปิดการทางานของ Diffusion Pump จากนั้นเปิด Vent Valve แสดงดังรูปที่ 4 เพื่อป้อนอากาศภายนอกเข้าไปในระบบให้สามารถเปิดฝาแชมเบอร์ได้ (ในช่วงนี้ต้องรอให้ฮีทเตอร์ของ Diffusion Pump เย็นตัวก่อนที่จะปิดการไหลของระบบน้าหล่อเย็น จากนั้นปิด Solenoid Valve และ Rotary Pump ตามลาดับ)

 

f4

รูปที่ 4 ปุ่มสาหรับเปิดและปิด Vent Valve

*ระบบน้าหล่อเย็น (Cooling Water) ควรให้เครื่องทาความเย็นจนมีน้าแข็งเกาะให้มากที่สุดเพื่อให้สามารถทาการหล่อเย็นให้กับ Diffusion Pump ให้นานที่สุด